মাইক্রো বিশ্লেষণ পদ্ধতিতে অতি অল্প পরিমাণ নমুনা ব্যবহার করে গবেষণা কার্য চালনা করা হয়। যার কারণে মাইক্রো বিশ্লেষণ পদ্ধতিতে যন্ত্রপাতিগুলো আকারে অনেক ছোট এবং দামী হয়ে থাকে। মাইক্রো পদ্ধতিতে যেসব যন্ত্রপাতি ব্যবহার করা হয় সেগুলো নিম্নরূপঃ মাইক্রো বিশ্লেষণ পদ্ধতিতে যৌগের পৃথকীকরণ, পরিমাণগত বিশ্লেষণ ও কাঠামো নির্ণয় উচ্চক্ষমতাসম্পন্ন যন্ত্রপাতি হলো- ১. HPLC ; GPLC ক্রোমাটোগ্রাফি। ২. IR ; UV-Vis ; NMR ; Mass Spectrum ইত্যাদি স্পেকট্রোমিটার। ৩. DSC ; TGA থার্মো এনালাইসিস। ৪. X - ray ব্যতিচার যন্ত্র ; Atomic Absorption Spectroscopy (AAS) ব্যবহার করা হয়। এছাড়াও মাইক্রো বিশ্লেষণ পদ্ধতিতে কাচের ও প্লাস্টিকের যন্ত্রপাতির মধ্যে মাইক্রো কনিক্যাল ফ্লাস্ক, মাইক্রো বিকার, মাইক্রো প্লাটিনাম ক্রুসিবল, মাইক্রো স্প্যাচুলা, ইলেকট্রিক ডিজিটাল ব্যালেন্স ইত্যাদি। এসব যন্ত্রপাতিতে অল্প পরিমাণ নমুনা ব্যবহার করতে দক্ষতার প্রয়োজন।